P01 PROCESS OVERVIEW

Understand the process
before changing
the solution.

실제 결과에서 시작해 공정을 좌우하는 요인을 검토하고, 화학약품·공정 조건·설비 구성에 필요한 방향을 도출합니다.

P02 FROM RESULT TO EVIDENCE

Start from what you see.
Find what really matters.

관찰 결과를 분석하고 가능한 변수를 검토하며, 통제된 비교를 통해 원인과 개선 방향을 확인합니다.

01
Observed result
Actual surface / profile / defect after process
Expected result / Observed issue
02
Possible variables
Multiple factors can affect the process result
- Temperature
- Time
- Flow / Contact
- Chemistry
- Transport Speed
- Equipment Function
03
Controlled comparison
Change one factor at a time under controlled conditions
Condition A · Condition B · Condition C
04
Evidence
Understand the response and key factors

P03 PROCESS WINDOW

주요 공정 조건과 제품 반응의 관계를 평가하여 목표 결과에 적합한 안정적인 공정 범위를 검토합니다.

01
Key variable analysis
Evaluate the effect of each condition on process response
- Temperature
- Time
- Flow / Contact
- Chemistry
- Transport Speed
02
Interaction and response
Understand combined effects and process behavior
Temperature · Concentration · Response
03
Process window
Define the acceptable range for stable and consistent result
Temperature × Concentration
04
Typical evaluation items
Key results used to judge process performance
- Surface appearance / defect
- Etch / strip rate (relative)
- Uniformity (within / across)
- Residue / by-product
- Material selectivity
- Process stability (repeatability)

분석 시각은 개념적 표현이며 실제 측정값, 고객 데이터 또는 공정 조건을 나타내지 않습니다.

P04 FROM EVIDENCE TO PRODUCTION

확인된 공정 범위를 화학약품 개발 또는 최적화, 필요한 공정 조건과 설비 기능으로 연결합니다.